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SUPRA??55热场发射扫描电子显微镜

SUPRA? 55热场发射扫描电子显微镜

SUPRA? 55 Thermal Field Emission Scanning Electron Microscopy

仪器名称：热场发射扫描电子显微镜

型       号：SUPRA? 55

生产厂家：德国蔡司公司

仪器简介：


仪器主要特点及技术指标：

1、肖特基(Schottky)场发射电子源，具有较大的发射电流和极高的稳定性

2、采用专利技术 GEMINI 镜筒，克服传统单极物镜光阑设计缺点，消除磁性影响，同时采用无交叉光路设计，提高了仪器的主要性能

3、采用 Beam booster（电子束加速器），以得到极好的低加速电压性能

4、环形高效 In-lens SE 探测器，具有良好的分辨率和对称性

5、电磁/静电式复合物镜，可对磁性物质进行高分辨成像

6、分辨率：1.0nm @ 15kV；  1.7nm @ 1kV；  4.0nm @ 0.1kV

7、放大倍数：12 ~ 900,000x

8、加速电压：0.1 ~ 30kV

9、可分析元素范围：4Be～94Pu

10、二次电子形貌（SEI）、背反射成分像/形貌像（BEI）、吸收电子图象、能谱成份图象分析

仪器主要功能及其用途：

1、金属、非金属及复合材料、生物样品表面形貌、组织结构的观察分析及图象处理

2、纳米材料：纳米粉及纳米粉体的形貌观察和粒度测量分析

3、微区成分的定性、定量分析，并对重点区域做元素分布图

4、颗粒样品粒径、面积、周长、圆度的测量，提供粒度分布图，并可对孔径样品做孔径分布直方图、饼图

5、可对固体材料的表面涂层、镀层进行结合情况观察和厚度测量

6、广泛用于冶金、生物、建筑、机械等行业的材料形貌观察及元素成分分析，如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等。本电镜配备有牛津X射线能谱分析仪。

扫描电镜照片应用举例: