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Shimadzu EPMA-1600电子探针X射线显微分析仪+能谱仪
Shimadzu EPMA-1600 Electron Probe Microanalyzer
仪器名称：电子探针X射线显微分析仪+能谱仪
型 号：EPMA-1600+
生产厂家：日本岛津公司
仪器简介：日本岛津公司的EPMA－1600型电子探针，由四道谱仪、八块分光晶体组成。此仪器不仅有较高的X射线检出角，同时由于使用全聚焦的X射线分光晶体，能兼顾X射线检测的高灵敏度和高分辨率，并配有高稳定的电子光学系统，真空系统及高精度机械系统以及牛津X-射线电制冷能谱仪，是目前最先进的微区成分定量分析和形貌观察的大型科研仪器之一。
上面配有牛津OXFORD-INCA能谱仪
仪器主要特点及技术指标：
l 分析元素范围： 4Be～94Pu 电子束流稳定性：好于1.5×10-3/H
l 二次电子像分辨率：6nm 加速电压：0~30kV X射线检出角：52.5°
l 放大倍数：50×～300,000× 分析速度：自动全元素定性分析时间≤60s
l 最大样品尺寸：100mm′100mm′50mm 样品台最小移动间距为0.01微米，机械系统精密度高
l 可观察二次电子像（SEI)，背散射电子像(BEI)，吸收电子像，光学显微像，X射线面分布像等。兼顾微区成分定量分析和形貌观察
仪器主要功能及其用途：
l 非破坏分析（分析时，被分析样品不会损坏，可以实现同点重复分析）、精细结构分析、能谱分析
l 微米尺度的空间分辨分析、轻元素的定量分析、元素的面分布分析、痕量元素的成分定量分析
l 适用于材料(陶瓷，合金，半导体材料等）以及矿物、岩石等固体材料的微区化学组成定性和定量分析，微区化学组成线分析，微区化学组成面分析以及材料、矿物和岩石等的微区形貌观察、成分分布图像等，是对试样微区组织结构，表面形貌观察及元素微区定量分析的最有效手段。
